高性能和可操作性的完美平衡

Edwards RGA 殘余氣體分析儀

我們的新型 RGA 有兩種型號： PRA 和 WRA，二者操作均簡單有效，確保了高性能和高效率

所有 RGA 都配備了專用的、易于使用的軟件，可通過筆記本電腦對制程進行實時跟蹤，并可對多達 16 臺不同的設備進行詳細分析。對于那些想快速查看結果的人來說，這些設備都各自配有板載顯示屏，無需通過筆記本電腦連接即可顯示主要氣體類型以及系統的整體壓力。

Edwards PRA 殘余氣體分析儀

PRA 主要殘余氣體分析儀

Edwards PRA RGA 實現了高端性能和使用便利的完美平衡?？商峁┧姆N型號以滿足您的制程需求，無論您只需要基本型號還是需要具有更高靈敏度/范圍的產品，PRA 都是分析您制程的完美起點。

Edwards WRA 殘余氣體分析儀

WRA 寬量程殘余氣體分析儀

Edwards WRA RGA 是我們產品線的進階型號，技術規格在市場上較為優異?？商峁?/span> 1-200 amu 或 1-300 amu 兩種型號，您可以測量制程中的各種氣體/副產品。與 PRA 相比，該產品具有更高的靈敏度，可提高測量精度。